OMS系列中频交流磁控溅射电源
OMS系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒。OMS系列中频交流磁控溅射电源具备独特的电弧抑制手段，有效克服电弧对膜层造成的瑕疵，预警系统实时显示电源工作状态，以便及时排除潜在问题。电源特别适用于大功率反应溅射膜层，如Low-E玻璃生产线及金属非金属卷绕镀膜使用.
OMS中频电源特性：
1，独立构造的控制组件，两级IGBT，PWM反馈单元，
2, 优化增益的软开关特性，消除每一次电磁干扰，以实现87%电源效率。可提升频率的时钟抖晃消除技 术（PLL），精准到1HZ的频率，即万分之一。以实现完美的输出电压及电流波形，在提供高品质镀膜的同时,保证了长时间的稳定运行。
3, OMS中频电源可传输强大的能量，以及平衡性良好的软开关特性的全桥放大电路，以确保远离开关噪声（EMI）。
4, 高级的零部件和功能设计带来精确且大功率的表现，以满足任何苛刻的镀膜需求，凌瑞的EPWM控制理 念具备了极低的负反馈和高瞬太电流能力的同时以实现零刻度电流起始。
5,我们提供多种输出特性的OMS中频电源：
1.1，15KW~40KW标准版本为35.00KHZ（订购）
1.2，高功率版本为40.00KHZ~44.00KHZ（订制）
1.3， 5~10KW中频电源提供 20.00~100.00KHZ选项服务（订制）
电源的参数范围
电源功率范围 15-40KW
输入电源 AC380V三相制AC50-60HZ±10％
输出方式 准正弦波
输出频率 35KHZ
输出电压 空载1100V[有效值]
输出特性 恒流 .恒压. 恒功率
灭弧时间 ≤2uS
输出电流稳定率 0.5％
负载持续率 100%
冷却方式 风冷
使用环境 环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85％
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
说明：电源的输出数据可根据使用需要作相应调整
PLC连接 有 （0_5V给定/0_5V反馈） 光电隔离
输出波型（重載）
后接口
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